【经营】中微公司说明刻蚀机技术领先优势及验证进展
2026-01-23
中微公司在投资者互动平台上回应了关于刻蚀设备技术水平的问题。公司表示,其CCP和ICP刻蚀机的单双反应台并举策略的优势凸显,对各个技术节点的工艺应用形成有效覆盖。同时,针对逻辑和存储芯片制造中最关键刻蚀工艺的设备在客户产线验证进展顺利,CCP和ICP设备中的部分先进机型已成为先进器件生产中关键工艺的主力机型。
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