【华信研究院】中国半导体发展指数报告

中微公司的一项发明专利“一种化学气相沉积装置及其清洁方法”荣获中国专利奖银奖。该专利解决了MOCVD设备领域长期存在的排气不均匀、工艺良率低等问题，提升了设备的可靠性和生产效率，巩固了中微公司在MOCVD设备市场的领先地位，并为国家节能减排作出贡献。