【经营】中微公司董事长宣布已开发54种高端半导体设备，加工精度达原子级

中微公司董事长尹志尧在公司22周年庆典上表示，公司已开发出54种高端半导体设备，覆盖刻蚀、薄膜、化学机械抛光及量检测设备。刻蚀和薄膜设备的加工精度已达原子级水平。截至2026年6月底，公司累计超过8800个反应台在国内外220余条生产线实现量产。

展望未来，公司计划继续开发上百种新的高端设备，拓展产品线布局。