【经营】中微公司与华虹集团签署战略合作 刻蚀设备获工博会双奖

10月12日，中微公司在第26届中国国际工业博览会上与华虹集团签署战略合作协议。双方将在设备与制造环节实现更紧密协同创新，建立长期稳定战略合作伙伴关系。

公司自主研发的Primo UD-RIE CCP刻蚀设备获得2026工博会CIIF大奖与“国芯展”创新成果奖。

中微公司平台化战略已全面落地，累计开发54种高端半导体设备，截至2026年6月底超过8800个反应台在国内外220余条生产线量产，服务百余家客户；未来五年计划覆盖约60%以上高端半导体设备市场及70%以上先进封装设备市场。