【经营】中微公司披露平台化战略：三至五年投入130亿开发100种细分设备

中微公司董事长尹志尧在集成电路高峰论坛上披露公司平台化战略。中微已从单一刻蚀设备厂商成长为综合半导体设备平台企业，重点投入刻蚀、薄膜、量检测和湿法设备四大方向。

目前累计开发54种高端半导体设备，超过8800个反应台在国内外220余条生产线实现量产，服务百余家客户，刻蚀和薄膜设备加工精度已达原子级水平。

未来三至五年计划累计开发100种细分设备，研发总投入130亿元；到2030年前实现全部刻蚀设备、全部薄膜设备及绝大部分量检测、湿法设备落地，集成电路设备整体覆盖率提升至60%以上。