【经营】中微公司湾芯展发布两款高端刻蚀及ALD设备新品
2026-10-14
10月14日,中微公司在2026湾芯展推介两款高端半导体微观加工设备新品——Primo XD-RIE™极高深宽比刻蚀设备与Prefima Unicore™AM12英寸ALD钼设备。
公司计划五年内开发出二十多种新的高端薄膜设备,助力7纳米到3纳米及更先进逻辑器件和300层到500层以上及更先进存储器件的需求。
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