芯源微研发投入暴增50% 国产涂胶显影设备迎突破

芯源微作为国内涂胶显影设备龙头企业，2024年研发投入达2.97亿元同比增长近50%，其前道设备覆盖28纳米以上工艺节点，物理清洗设备市占率国内第一，化学清洗设备突破高温硫酸工艺验证，后道封装领域市占率超50%。公司持续加码研发，加速国产替代进程。