半导体湿法清洗设备行业增长，芯源微为主要厂商

华经产业研究院报告显示，半导体湿法清洗设备是芯片制造核心装备，清洗工序数量随半导体技术进步持续增长。2024年中国半导体湿法清洗设备市场规模达228.2亿元，2020-2024年复合年增长率25%。国内主要厂商包括盛美上海、至纯科技、北方华创、芯源微、亚电科技等。其中，芯源微主营涂胶显影设备，清洗设备主要产品为物理刷片清洗设备，在湿法化学清洗领域专注单片湿法清洗设备，其物理刷片清洗设备与其他厂商湿法清洗设备存在一定差异。