芯源微：公司系国内唯一可以提供量产型前道Track设备的供应商，设备在光刻工艺胶膜均匀涂敷技术、精细化显影技术、高产能设备架构及机械手优化调度技术、内部微环境精确控制技术等多项关键技术上已达到国际先进水平

芯源微表示公司各项业务稳步推进，经营数据详见公告。公司为国内唯一量产型前道Track设备供应商，关键技术达到国际先进水平。首台前道单片式高温硫酸化学清洗机KS—CM300已发往客户端验证，进展顺利，有望快速提升市场份额。