又一批半导体项目新进展！芯源微、北一半导体、元旭半导体、龙腾半导体

沈阳芯源微高端晶圆处理设备产业化创新路项目总投资10亿元，主要研发生产前后道涂胶显影设备，建成后将提升国产光刻工序涂胶显影设备市场占有率，打破国外产品的市场垄断及技术垄断。该项目的开工是沈阳打造全国集成电路装备及零部件重点产业基地的重要举措。