拓荆科技HDPCVD设备出货量破百 国产替代空间广阔

拓荆科技HDPCVD系列产品（USG、FSG、STI薄膜工艺设备）已实现产业化并持续扩大量产规模，其HDPCVD系列产品反应腔累计出货量达到100个。同时，2023年国内薄膜沉积设备市场规模约479亿元，国产化率低于25%，存在广阔国产替代空间。