拓荆科技薄膜沉积设备产业化及出货进展显著

拓荆科技深耕半导体薄膜沉积设备领域，拥有PECVD、ALD、SACVD等系列产品，广泛应用于集成电路逻辑芯片、存储芯片制造，客户覆盖中芯国际、华虹集团等。其核心产品PECVD已实现全系列介质薄膜材料产业化应用；ALD设备作为国产头部厂商产品，相关工艺设备已大量出货；SACVD系列产品反应腔累计出货超100个，HDPCVD、Flowable CVD设备也已实现产业化并持续扩大量产规模。