拓荆科技薄膜沉积设备获看好 多产品已量产或验证

有分析指出，拓荆科技作为国内半导体薄膜沉积设备龙头企业，其技术与产品储备有望随先进制程扩产持续转化为订单。

公司已形成PECVD、ALD、SACVD等完整的薄膜沉积设备产品系列，并广泛应用于逻辑芯片和存储芯片制造。

报告提及，其PECVD设备已规模化量产并导入主流晶圆产线，ALD设备完成验证进入量产，三维集成键合设备多款核心产品也已实现量产或客户验证。