【经营】拓荆科技发布非晶碳薄膜沉积技术Flowable Carbon

拓荆科技在2026湾芯展上正式发布非晶碳薄膜沉积技术Flowable Carbon，该技术已应用于NF-300M Supra-H设备，通过前驱体选择和工艺控制实现了Capi-Carbon和Sedi-Carbon两种可流动碳膜工艺。

公司已围绕该技术系列与3D-NAND、DRAM及逻辑芯片制造企业展开合作，拓展碳膜技术的应用场景。