盛美上海清洗设备覆盖95%工艺！半导体国产替代加速引爆行业关注

SEMICON China大会展示了国产半导体设备及零部件的最新进展，其中盛美上海展出了覆盖95%工艺步骤的清洗设备和全技术覆盖的电镀设备，并推出多款新产品。新凯来首次亮相展示四大类设备，国产设备平台化布局加速，零部件国产化关注度提升。