盛美上海高端Track设备月底验证,国产化进程提速!
2025-06-20
盛美上海最新研发的用于KrF工艺的300WPH Track设备beta样机预计于2025年6月底进入客户端验证,标志着公司在高端半导体设备国产化方面取得关键进展。
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