盛美上海KrF涂胶显影设备交付 股价创新高

9月24日早盘半导体设备材料板块走强，盛美上海涨超10%并创历史新高；9月公司首款KrF工艺前道涂胶显影设备Ultra Lith KrF首台已交付中国头部逻辑晶圆厂客户，半导体设备公司产品交付进展及大基金三期加码设备板块推动板块上涨。