盛美上海多技术突破 业务扩展需求景气
2025-11-18
盛美上海拥有全球首创的SAPS/TEBO兆声波清洗技术和单片槽式组合清洗技术,其半导体清洗设备在12英寸晶圆应用上与国际巨头无差距;立式炉管设备技术储备丰富,专利超20项;首台Ultra Lith KrF涂胶显影设备已交付头部逻辑晶圆厂;PECVD设备已交付客户验证。公司业务版图扩展至六大类,受益于大陆集成电路政策支持和本土需求提升,未来客户资本开支高,带动清洗设备等需求景气
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