博众精工核心部件突破助力国产光刻机发展

博众精工表示2024年下半年正式发布热场发射电子源、高稳定度直流高压电源和恒流源等产品，这些关键部件可应用于电子束光刻机等领域。全国首台国产商业电子束光刻机'羲之'已进入应用测试，精度比肩国际设备。券商指出全球光刻设备市场规模持续增长，预计2029年达378.1亿美元，国产半导体产业链企业正取得显著进展。