华海清科首台12英寸低温离子注入机成功出货

华海清科全资子公司芯嵛半导体上海有限公司自主研发的首台12英寸低温离子注入机iPUMA-LT于7月14日顺利出机，发往国内逻辑芯片制造领域龙头企业。公司表示，这标志着其成功实现面向先进制程芯片制造的大束流离子注入机各型号全覆盖。