华海清科获修整头专利授权提升抛光设备技术

华海清科股份有限公司近日获得一项名为‘一种修整头’的专利授权，该专利用于化学机械抛光设备中抛光垫的修整活化。修整头包含传感器可实时监测修整组件位置，提升修整效果。其他公司如OPPO、荣耀、VIVO也公布了多项电子设备相关专利。