中国专利奖结果公布：新声、中微等半导体企业入选

华海清科入选第二十五届中国专利奖，其《化学机械抛光机及具有它的化学机械抛光设备》专利获得认可。该技术推动国产CMP设备向更高水平发展，Universal—300 T系列设备满足先进制程技术需求，已在集成电路、先进封装等领域批量应用。