华海清科收购芯嵛布局离子注入装备产品已商业化

2025-09-23

弱中性中性

华海清科通过收购芯嵛公司控股权布局离子注入装备领域，芯嵛公司核心技术团队开发的新一代束流系统可提高晶圆颗粒污染控制效果和装载效率，其低能大束流离子注入装备已实现多台验收，并积极推进更多品类开发。2024年华海清科半导体行业营业收入34.06亿元，同比增长35.81%

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