华海清科高端装备出机量突破20台 获市场认可

2025年12月10日，华海清科自主研发的12英寸减薄抛光一体机Versatile-GP300累计出机量突破20台。

这一里程碑体现了该装备的技术性能与量产能力获得市场高度认可，标志着国产高端半导体装备在3D IC、先进封装等关键工艺领域实现了从技术突破到规模化应用的重要跨越。该装备凭借颠覆性创新设计，将磨削减薄、化学机械抛光与清洗模块一体化集成，关键技术指标达到国际先进水平，已获得多家头部企业的重复订单，在客户端产线稳定运行，累计出货晶圆超20万片。