华海清科离子注入机获突破，国产替代再添利器

华海清科通过收购芯嵛半导体快速切入离子注入机赛道，在2025年取得显著技术突破。

2025年7月，公司首台12英寸低温离子注入机已交付逻辑芯片龙头客户，标志着其实现了大束流机型全覆盖。

凭借在CMP设备领域积累的晶圆厂客户资源，华海清科有望复制其国产替代的成功路径，加速离子注入机这一新产品的市场渗透。