华海清科离子注入机获领航奖，国产突破获认可

华海清科在2025年12月20日的“IC风云榜颁奖典礼”上荣获“年度半导体上市公司领航奖（离子注入机）”，表彰其在半导体细分领域的领先地位与技术壁垒。

公司通过全资子公司芯嵛半导体发力离子注入机，实现技术突破、产品矩阵完善和市场规模化落地。2024年底收购芯嵛半导体82%股权，切入离子注入核心赛道；2025年7月，首台12英寸低温离子注入机交付国内逻辑芯片龙头，性能达国际主流水平；最新一代大束流机型在关键指标上接近国际竞品，已通过多家头部客户验证并获重复订单。

目前，其12英寸大束流离子注入机已批量交付国内多家集成电路头部企业，打破海外厂商垄断，为半导体产业链自主可控提供关键装备支撑。