【经营】华海清科获国内首台全自动板级CMP量产装备订单
证券时报网
2026-06-09
华海清科自主研发的国内首台510*515mm尺寸全自动板级CMP量产装备Master-P510APEX成功获得先进封装领域重要客户订单,将进入客户端产线投入量产应用。该装备将成为国内首台进入产线的国产全自动板级CMP装备,为我国先进封装及半导体产业自主可控补齐关键一环,也是公司CMP装备技术从晶圆级向板级延伸的重要里程碑。
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