【观点】华海清科等本土企业加速离子注入机国产替代进程

智研咨询发布的行业研报指出，中国离子注入机行业正处于“进口依赖”向“国产突围”加速转换期。华海清科作为本土代表企业之一，在离子注入机领域加速追赶，其芯嵛半导体产品快速迭代，有望覆盖28nm及以上成熟制程。报告认为，在国内晶圆厂扩产及政策支持下，国产设备迎来规模化应用机会。