【经营】国内首台全自动板级CMP装备进入量产线
2026-09-09
华海清科自主研发的国内首台全自动板级CMP装备Master-P510APEX已顺利出机,并发往先进封装产线投入量产应用。该装备针对大尺寸板级封装工艺进行了系统性设计,具备全板面均匀性与平坦化控制能力,可满足低缺陷抛光要求。通过智能终点检测与自动化控制,实现了多种工艺模式的灵活切换,能够为先进封装产线提供高一致性、高良率的规模化量产支持。
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