华海清科获国奖 CMP装备国产化突破

华海清科凭借'集成电路化学机械抛光关键技术与装备'项目获2023年度国家技术发明奖一等奖，推出国内首台12英寸CMP装备实现国产替代。科创板集成电路企业整体营收增长近九成，半导体设备领域延续高景气度。