国产光刻机突破利好中船特气等特种气体供应商

全国首台国产商业电子束光刻机'羲之'研发完成，精度达0.6nm，专攻量子芯片和半导体研发。同时我国在纳米压印光刻和第三代半导体技术取得突破。中船特气作为光刻机用特种气体重要供应商，其产品将直接受益于国产光刻设备放量和半导体产业扩张。