【经营】中船特气电子特气中试平台入选工信部重点培育名单
2026-11-02
工信部公示第二批重点培育中试平台名单,中船特气建设运营的集成电路用电子特种气体及材料研发中试平台成功入选。
该平台聚焦集成电路用电子特气及材料,覆盖五大主流制备专业,是国内少数具备危化品合规中试和电子级纯度精密质控双重资质的综合试验载体,意在补齐行业“实验室小试到产业化量产”的中间断层。
平台采用企业自主筹资、联合头部高校的模式,相关工艺已在高纯电子气体一期混料自动化、高纯丙烯精馏提纯项目中落地见效,并构建了覆盖原料准入到“三废”处置的全链条安全体系;后续将围绕资质提升、产品谱系丰富与中试工艺自动化,持续推进电子特气国产化。
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该平台聚焦集成电路用电子特气及材料,覆盖五大主流制备专业,是国内少数具备危化品合规中试和电子级纯度精密质控双重资质的综合试验载体,意在补齐行业“实验室小试到产业化量产”的中间断层。
平台采用企业自主筹资、联合头部高校的模式,相关工艺已在高纯电子气体一期混料自动化、高纯丙烯精馏提纯项目中落地见效,并构建了覆盖原料准入到“三废”处置的全链条安全体系;后续将围绕资质提升、产品谱系丰富与中试工艺自动化,持续推进电子特气国产化。
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