微导纳米（688147）：本土ALD龙头，战略发展半导体前景广阔

公司以原子层沉积（ALD）和化学气相沉积（CVD）等薄膜沉积技术起家，已形成以ALD技术为核心、CVD等多种真空薄膜技术梯次发展的产品体系。

在半导体领域，公司战略性发展，从2021年开始贡献收入并进入快速发展阶段。公司持续拓宽技术平台，已成功研制出国内首台量产型High-k原子层沉积设备并应用于28纳米节点，当前产品可覆盖逻辑、存储、先进封装等多个细分领域。同时，公司积极拓展至CVD设备，其中PECVD已实现产业化应用，LPCVD已进入产业化验证阶段。

在光伏领域，公司是高效电池技术与设备领军者，率先实现ALD技术在光伏电池生产的规模化应用，市场份额连续多年位居国内同类企业第一，当前产品已覆盖TOPCon、XBC、钙钛矿及叠层等新型电池技术路线。