微导纳米拟募资11.7亿扩建半导体设备智能工厂

微导纳米拟通过发行可转债募资不超过11.7亿元，其中6.43亿元用于建设半导体薄膜沉积设备智能化工厂项目，预计达产后年收入15.65亿元。该项目旨在提升半导体ALD、CVD设备产能及质控能力，增强交付稳定性，被公司视为半导体产业链重点技术装备的战略布局。