微导纳米ALD设备实现28nm节点国产化突破

微导纳米是无锡首家上市的集成电路装备企业，专注于原子层沉积（ALD）设备。2015年成立时，国内ALD市场被国外厂商垄断，其创始团队选择从ALD中最难的高介电常数栅氧薄膜工艺做起。2018年美国半导体出口限制催生国内国产化需求，2021年微导纳米首台半导体设备实现销售，2021年推出的设备是国产首台成功应用于28nm节点集成电路制造前道生产线的量产型High—k原子层沉积设备，成为薄膜沉积设备国产化主力。