微导纳米ALD/CVD设备实现产业化突破并量产
2025-09-11
9月10日科创板半导体设备及材料行业集体业绩说明会上,微导纳米表示其ALD设备已涵盖行业所需主流ALD薄膜材料及工艺,在高介电常数材料、金属化合物薄膜等领域实现产业化应用,量产规模不断增加;CVD设备在硬掩膜等关键工艺领域实现产业化突破,进入存储芯片等领域先进器件量产生产线,并持续推出客户所需的多款关键工艺设备
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