微导纳米“沉积设备”专利公布 改善镀膜质量

江苏微导纳米科技股份有限公司近日申请的“沉积设备和沉积方法”专利公布。该专利涉及沉积设备的结构设计，包括外壳、内壳、承载支架和出气组件，通过内壳与外壳形成外腔和内腔，支撑轴穿设内壳让位孔连通内外腔，出气组件控制外腔压力，能够改善沉积设备的镀膜质量。