微导纳米携高端薄膜沉积方案亮相IC WORLD 2025

微导纳米在IC WORLD 2025大会上携高端薄膜沉积解决方案亮相，展示了其在原子层沉积（ALD）及化学气象沉积（CVD）领域的技术积累。公司已推出iTomic？HiK、iTomic？PE、iTronix？PE等系列产品，与国内多家厂商建立深度合作，多项设备关键指标达国际先进水平。ALD设备实现行业主流ALD薄膜材料与工艺全方位布局，在高介电常数材料、金属化合物薄膜等领域规模化量产应用；CVD设备在硬掩膜等核心工艺环节取得重要产业化突破，相关产品已进入存储芯片等高端器件量产线。未来公司将继续创新驱动，加速新技术研发与量产验证，助力半导体产业高质量发展。