微导纳米多项半导体设备技术达国产领先
2025-10-24
微导纳米于10月23日在互动平台表示,公司是国内首家将量产型High-k原子层沉积设备(ALD)应用于集成电路制造前道生产线的国产设备厂商,也是国内首批成功开发并进入产业链核心厂商量产线的硬掩膜化学气相沉积设备(CVD)国产厂商,同时是行业内率先为新型存储提供薄膜沉积技术支持的设备厂商之一
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