微导纳米半导体订单激增97%，技术领先驱动增长

微导纳米半导体业务在2025年1—9月表现突出，新增订单约14.83亿元，同比增长97.26%，其中存储芯片客户贡献超过80%。

同期半导体设备营收达5.26亿元，同比增长78.27%，7—9月单季营收约3.33亿元，增幅高达132.66%。

公司通过发行11亿元可转债，投入6.43亿元用于半导体薄膜沉积设备智能化工厂建设，以提升产能支持规模化交付；2.27亿元用于研发实验室扩建，加速技术转化。在存储芯片领域，ALD和CVD硬掩膜工艺成为3D NAND和DRAM技术迭代的关键支撑，高温PECVD等多款设备已实现量产。

逻辑芯片和先进封装领域也取得突破，设备通过客户验证，满足高端需求，有望受益于市场扩张。