微导纳米回应ALD设备氧源配置选择

有投资者询问微导纳米ALD技术路径主要采用水蒸气还是臭氧，以及臭氧路径的市场前景与优势。

公司回应称，在ALD设备中，水蒸气与臭氧均可作为氧源。出厂的设备能够为客户提供多种配置选择，实际运行中客户会根据成本、稳定性、工艺控制等因素决定具体采用的工艺路线。