微导纳米ALD技术加速固态电池产业化

固态电池作为新兴技术路线，其规模化生产对制造工艺与设备提出了全新要求。原子层沉积（ALD）技术在固态电池界面工程中地位突出，通过在材料表面包覆极薄的缓冲层，能有效解决正极、负极和电解质之间的界面阻抗与稳定性难题。

微导纳米作为国内ALD设备的领军企业，已率先开发出适用于先进工艺的高k ALD设备，并积极推进该技术在新能源电池领域的产业化应用。公司新能源电池用ALD镀膜设备已于2024年进入产业化开发阶段，预计将在批量式粉末沉积、材料改性等场景加快落地，旨在提升材料性能并降低生产成本。