【经营】微导纳米回应ALD设备配置与客户选择因素

同花顺金融研究中心05月08日讯，微导纳米在投资者互动中回应关于臭氧源ALD设备在3D结构先进存储芯片与固态电池中的应用问题，表示在ALD设备中水蒸气与臭氧均可作为氧源。公司出厂的设备能够为客户提供多种配置选择，实际运行中客户会根据成本、稳定性、工艺控制等因素决定具体采用的工艺路线。