【经营】微导纳米湾芯展发布新品,实现薄膜沉积三大技术路线全覆盖
2026-10-16
微导纳米副总经理周建东在2026湾芯展上表示,国产设备企业发展不能依赖国产化身份获取市场,应立足开放视野,打磨设备与工艺,给客户选择的理由。
本次展会上,微导纳米推出全新iMagtron系列磁控溅射系统(PVD)及Ru超薄膜工艺专用ALD设备,实现了ALD、CVD、PVD三大主流薄膜沉积技术路线全体系覆盖。
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本次展会上,微导纳米推出全新iMagtron系列磁控溅射系统(PVD)及Ru超薄膜工艺专用ALD设备,实现了ALD、CVD、PVD三大主流薄膜沉积技术路线全体系覆盖。
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