逻辑芯片等将驱动ALD设备快速渗透 市场由境外厂商垄断 国产实现技术突破

ALD设备作为薄膜沉积设备的细分种类，尽管目前市场占有率较低，但在未来几年内有望成为半导体晶圆设备中增长最快的领域之一。微导纳米等国内厂商在ALD设备领域取得了显著进展，部分产品性能已可媲美国际水平，显示出良好的市场前景。