微导纳米：公司在微、纳米级薄膜沉积领域积累丰富技术储备

投资者在互动平台询问微导纳米是否具备原子层刻蚀（ALE）技术储备，公司回应称其专注于薄膜沉积设备工艺技术研发和应用场景拓展，拥有丰富的微、纳米级薄膜沉积核心技术储备，形成了以原子层沉积（ALD）技术为核心的产品体系，并未直接提及ALE技术。