微导纳米：已形成多项核心技术构建以原子层沉积为核心的产品体系

微导纳米在投资者互动平台上表示，公司作为原子层沉积（ALD）领域的龙头，在薄膜沉积设备工艺技术研发和应用场景拓展方面积累了丰富技术储备，并已形成以ALD为核心、多种真空薄膜技术梯次发展的产品体系。