国产半导体设备突破利好华特气体等产业链企业

国产半导体设备在28纳米电子束量测设备和电子束光刻机领域取得突破，无锡亘芯悦科技量产28纳米电子束量测设备，首台商用电子束光刻机"羲之"启动测试。这些进展填补国内技术空白，提升半导体产业链自主可控能力。华特气体作为半导体材料国产替代相关企业，被列为重点关注对象。