华特气体:High-k前驱体三年国产化将突破
2025-10-20
华特气体傅铸红在湾芯展专访中称,公司光刻混合气通过ASML认证,50余种产品进口替代,20多款进入14nm/7nm产线,部分到5nm。未来将攻克氟气杂质问题,已有5nm以下气体储备,High-k前驱体国产化三年有望突破。公司战略含全品类覆盖、海外拓展、降本及收购上下游。
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