【经营】华特气体多款光刻气通过ASML认证，进口替代突破5nm制程

华特气体是国内唯一一家多款稀混光刻气（Ar/F/Ne、Kr/Ne、Ar/Ne、Kr/F/Ne等）同时通过荷兰ASML公司和日本GIGAPHOTON株式会社认证的气体企业，4款光刻气均为国内唯一供应商。公司已实现57个产品的进口替代，其中超20个产品进入14nm、7nm先进制程产线，部分氟碳类、氢化物产品突破至5nm制程。